lamp使用寿命接近上限
A、反馈至工程师安排换灯;
B、反馈至技术员安排换灯;
C、直接动手换灯;
D、没有出现异常可以继续使用
当出现烘烤温度与工艺卡不一致怎么处理
A、选择正确温度的Recipe
B、修改烘烤温度
C、 反馈给工程师
当出现烘烤时间与工艺卡不一致怎么处理
A、修改烘烤时间
B、选择正确时间的Recipe
C、反馈给工程师
Sensor感应异常?
A、不用管
B、通知工程师
C、出问题在调整
D、调整Sensor;
设备干涉异常?
A、1111
B、2222
C、消除警报,设备回原点;
Heater升温异常
A、禁止该炉层,反馈工程师
B、111
C、222
出现烘烤温度与工艺卡不一致怎么处理
A、111
B、选择正确温度的Recipe
C、222
当出现烘烤时间与工艺卡不一致怎么处理
A、111
B、222
C、3333
D、选择正确时间的Recipe
APR版上版挂偏了如何处理
A、111
B、222
C、重新刮版,确认APR版右侧标示线和P轮标示线中心是否重合
产品十字Mark偏离视野
A、111
B、222
C、若生产处理后多次重复发生Mark偏离视野,需要重新将产品Mark保持第二原点;
产品十字Mark缺失
A、拍照,将产品排出机台,和PI确认产品处理方式
B、111
C、222
发现AOI M或L+O报警时,怎么处理?
A、参考《XA-D-WI03060 附件2 配向膜检查岗位异常处置标准》
B、111
C、222
发现AOI common报警时,怎么处理?
A、111
B、222
C、若是SM类,更改AOI common 报警数量;若是O类,擦版
发现印刷精度NG时,怎么处理?
A、111
B、重新下首检直至测试OK
C、222
确认印刷精度的管控规格参考哪份文件?
A、《配向膜检查机印刷精度规格表》
B、111
C、222
dummy检出刮刀Mura时,怎么处理?
A、擦拭刮刀/更改压入量直至OK
B、111
C、222
Macro检出未知不良时,怎么处理?
A、确认Dummy上是否检出。若检出,调整coater参数并重新下首检直至OK;若未检出,恢复生产并通知PI排查
B、111
C、333
D、3333
当点检参数与点检表不一致怎么处理
A、技术员再次核对机台的实际参数数值,流量压力偏低时技术员进行流量调整到范围值以内。技术员无法解决时反馈工程师。
B、111
C、222
当设备生产中发生某个单元流量/压力报警时如何处理
A、针对流量压力低下报警,先调节流量偏低的单元流量阀门,如报警无法改善,则反馈工程师同时与生产确认切线时间进行滤芯更换。
B、1112
C、222
I/C&O/C单元破片报警处理方式
A、根据SOP处理玻璃破片,并着重关注破片时BPC内的玻璃在检查机的状况。
B、 1111
C、222
机械手臂默停
A、拍摄默停手臂PLC的Interface画面,拍摄完成后进行重启,如果无法解决反馈工程师。
B、111
C、 222
dose测量结果不在spec范围内
A、确认测量速度是否为120mm/s;
B、测量时是否为feedback模式;
C、以上内容确认OK后测量结果仍不在spec内,反馈工程师;
D、以上内容确认OK后测量结果仍不在spec内,自己动手查看;
mark对位报警
A、如果是pict,长按对位skip;
B、如果是产品,点击touch panel上的重新对位继续生产;
C、反馈给工程师
D、不需要做任何操作
Heater过升温异常
A、确认Heater温度是否异常:
B.无异常:消除警报;
C.有异常:禁止该炉层,反馈工程师;
D.有异常:直接反馈工程师;
Heater过升温异常
A、确认Heater温度是否异常:
B.无异常:消除警报;
C.无异常不用管
D.有异常:禁止该炉层;
E.有异常直接处理
PI TANK上PI液后压力值低下
A、确认N2压力值是否异常
B、反馈给工程师
C、尝试擦拭或者更换TANK密封圈
PI吐出量异常
A、反馈至工程师进行处理
B、确认TANK压力
C、确认管道内是否有气泡
D、确认PI TANK内PI液管子是否放入PI液桶内
coater异物检知
A、进入设备确认机台(玻璃)上异物类型,并使用无尘布收集
B、异常品处理方法需向工程师确认
版伸补正异常
A、确认版补正mark页面,mark是否在视野中心
B、确认版补正登入页面参数是否异常
C、若Mark有异物残留,需擦拭APR版异常mark位置
膜厚数据超标时,应该怎么做?
A、机台异常:调整机台参数重新测试;
B、PICT膜厚异常:确认制程是否完整;重新投入新PICT进行确认;
C、Test key膜厚异常:加测是否OK?OK则续流,NG则加测PICT;
各向异性or配向角数据超标时,应该怎么做?
A、反馈至工程师进行处理
B、机台异常:调整机台参数重新测试;
C、PICT 超标异常:确认制程是否完整;重新投入新PICT进行确认;
D、Test key超标异常:加测是否OK?OK则续流,NG则加测PICT;
coater要产品时robot默停直接robot重做原点后重新要片
设备异常报警技术员需确认报警内容,确认是否有产品异常,反馈工程师;
部门
G5.5PIPA
G5.5ODF
G6PIPA
G6ODF
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